
氮化硅坩埚
- 湖南德智请求一种制备高耐性碳化硅陶瓷材料和使用的专利经过本专利技术可满意各种使用场景需求
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金融界 2024 年 12 月 17 日音讯,国家知识产权局信息数据显现,湖南德智新材料股份有限公司请求一项名为“一种制备高耐性碳化硅陶瓷材料的办法和使用”的专利,公开号 CN 119118678 A,请求日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显现,本发明供给了一种制备高耐性碳化硅陶瓷材料的办法,经过本发明办法制备得到的高耐性碳化硅陶瓷材料可以具有高纯度和高耐性,既可以彻底满意晶圆外延成长或碳化硅刻蚀对碳化硅陶瓷材料高纯度的要求,也可利用其优异的耐性及加工性制作出更多的形状,然后满意各种使用场景的需求。
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