1 上海艾力克新能源有限公司 Shanghai Alex New Energy Co., Ltd. PECVD工艺训练 目录 PECVD的效果 PECVD的原理 PECVD工艺参数的调整 安全 界说 等离子体：因为物质分子热运动加剧，相互间 的磕碰就会使气体分子发生电离，这样物质就 会变成自在运动并由相互效果的正离子、电子 和中性粒子组成的混合物。 PECVD：Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 微波直接等离子增强化学气相堆积 PECVD作业原理 PECVD的效果 在太阳电池外表堆积深蓝色减反膜-SiN膜。其还具有杰出的抗氧 化和绝缘功用，一起具有十分杰出的阻挠钠离子、掩蔽金属和水蒸汽 分散的才能；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢 腐蚀外，其它酸与它根本不起效果。 除SiN膜外，TiO2，SiO2也可作为减反膜。 190-210 深 红 色 93-100 淡蓝色 180-190 红 色 77-93 蓝 色 300-330 红 色 150-180 橙 黄 色 73-77 深蓝色 280-300 橙黄色 130-150 黄 色 55-73 红 色 250-280 浅绿色 120-130 淡 黄 色 40-50 黄褐色 230-250 蓝绿色 110-120 硅 本 色 20-40 褐 色 210-230 蓝 色 100-110 很淡蓝色 0-20 硅本性 厚度（nm） 色彩 厚度（nm） 色彩 厚度（nm） 色彩 氮化硅色彩与厚度的对照表 PECVD的效果 在左图中示出了四分之一波长减反射膜的原理。从第二个界面返回到第一个界面的反射光与从第一个界面的反射光相位相差180度，所以前者在某些特定的程度上抵消了后者。即n1d1=λ/4 空气或玻璃 n0=1 or 1.5 SiN减反膜的最佳折射率n1为 1.9或2.3 硅 n2=3.87 PECVD的效果 PECVD的效果 PECVD的效果 PECVD的效果 钝化太阳电池的受光面 钝化膜(介质)的最大的效果是维护半导体器材外表不受污 染物质的影响，半导体外表钝化可下降半导体外表态密度。 PECVD的效果 钝化太阳电池的体内 在SiN减反射膜中存在很多的H，在烧结进程中会钝化晶体内部悬挂键。 PECVD的原理 PECVD的原理 PECVD工艺参数的调整 在每一个进程中左右运用稍微不同的脉冲周期（相差1-2ms） 调整P-peak可改动等离子源的分散长度，堆积率跟着P-mean细微添加（经过Ton，Toff操控），假如不均匀经过左/右微波功率调理左/右堆积率。 P-peak=2500…3200…3600WTon=3…8…12msToff=12…18…25msMean power=750…1000…1500W 微波功率（对一个微波源） 跟着温度添加细微削减堆积率 250…325…400℃ 反响温度 最佳值为80cm/min 速度的调整用刁难膜厚的终究调整 15…20…30cm/min/PS 承载框传输速度 高的硅含量（低于1.2）开端在SiN膜中发生光吸收 较多的SiH4会导致较多的Si含量、更高的折射率 1.5…2.0…4 作业气体比（QNH3/QSiH4) 堆积率跟着总气体流量添加（在1000sccm/PS时饱满），但在高流量时等离子体割裂态少 150…300…500 sccm/PS 总气体流量 超越0.25mbar下降堆积率；低压添加H钝化效果 0.05…0.1-0.2…0.5mbar 堆积腔压力 补白 对SiN膜的效果 规模 参数 P P t t t mean peak on on off = + * SiN膜对太阳电池参数的影响 激烈依靠硅片的体资料 氢对体内的钝化 激烈依靠烧结工艺 氢对硅外表的钝化 +-1…+-3…+-5% 膜的均匀性 在烧结后膜的光学特性有一些改动 对最大的光吸收为最佳的减反膜参数 1.9…2.0…2.1…2.2 折射率 在烧结后膜的光学特性有一些改动 对最大的光吸收为最佳的减反膜参数 70…75…80 nm 膜的厚度 补白 SiN膜的效果 规模 参数 安全 无水氨气是一种影响性、无色、可燃的贮存于钢瓶的液化紧缩气体。其存储压力为其蒸汽压14psig(70℉)。氨气会严峻灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超越15%时有当即构成火灾及爆破的风险，因而进入这样的区域前有必要排空。进入浓度超越露出极限的区域要佩带自给式呼吸器。大规模走漏时需求全身防护服，并应随时意识到潜在的火灾和爆破风险。露出在氨气中会对眼睛构成中度到重度的影响。氨气激烈地影响鼻子、嗓子和肺。症状包含灼伤感、咳嗽、喘息加剧、气短、头痛及厌恶。过度露出会影响中枢神经系统并会构成痉挛和失去知觉。上呼吸道易受损害并导致气管炎。声带在高浓度下特别简单遭到腐蚀，下呼吸道损害会构成水肿和出血，露出在5000ppm下5分钟会构成逝世。 紧迫救助 眼睛触摸：用很多的水冲刷，当即进行医疗处理。 吸入：将人员移到空气新鲜处，若呼吸困难，则输氧，并敏捷进行医务处理。 皮肤触摸：用很多水冲刷，当即脱掉被污染的衣服，并当即进行药物处理。 火灾补救 救活剂：干粉、二氧化碳或水 从走漏区分散一切的人，堵截氨气走漏源，然后依据焚烧的物质进行救活。因为受热钢瓶内压力会升高，假如泄压设备功用失灵，会引起钢瓶爆破。 硅烷是一种无色、与空气反响并会引起窒息的气体。该气体一般与空气触摸会引起焚烧并放出很浓的白色无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要损害是它自燃的火焰会引起严峻的热灼伤。假如严峻甚至会丧命。假如火焰或高温效果在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀发动之前爆破，假如泄放硅烷时压力过高或速度过快，会引起滞后性的爆破。走漏的硅烷如没有自燃会很风险，不要接近，别试图在堵截气源之前救活。 硅烷会影响眼睛，硅烷分化发生的无定型二氧化硅颗粒会引起眼睛影响。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、厌恶、头晕并影响上呼吸道。硅烷会影响呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病。硅烷会影响皮肤、硅烷分化发生无定型二氧化硅颗粒会引起皮肤影响。 紧迫救助 因为硅烷走漏引起人员灼伤应由受过训练的人员进行 急救，并当即寻求医疗处理，眼睛触摸：应当即用水冲刷至少 15分钟，水流不要太快，一起翻开眼睑，使受难者为“O”形眼， 当即寻求眼科处理；吸入：将患者赶快移到空气新鲜处，如有 必要由受过训练的人员进行输氧或人工呼吸。皮肤触摸：用大 量的水清洗至少15分钟，脱掉已露出在硅烷中被污染的衣服， 当心莫触摸到眼睛，假如患者有继续的影响感或其他进一步的 健康影响需当即进行医疗处理。 火灾补救 堵截气源救活，用水雾削减空气中构成的焚烧产品，不要 用卤化物类救活器。从最远的间隔用水冷却露出在火焰中的钢瓶。 从走漏区分散一切人，堵截气源，依据焚烧的物质救活。因为热 量的效果气瓶内压力会升高，假如泄压设备失灵会引起钢瓶爆破。 走漏的微波会损害人体 称谢 谢谢各位！ 1 上海艾力克新能源有限公司 Shanghai Alex New Energy Co., Ltd.

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