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  内容提示：PECVD 等离子体： 因为物质分子热运动加重， 相互间的磕碰就会使气体分子发生电离， 这样物质就会变成自在运动并由相互作用的正离子、 电子和中性粒子组成的混合物。 PECVD： Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 微波直接等离子增强化学气相堆积 PECVDPECVD 在太阳电池外表堆积深蓝色减反膜-SiN 膜。 其还具有杰出的抗氧化和绝缘功能， 一起具有十分杰出的阻挠钠离子、掩蔽金属和水蒸汽分散的才能；它的化学稳定性也很好， 除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外， 其它酸与它根本不起作用。 除 SiN 膜外， TiO2， SiO2 也可作为减反膜。 ECVD 氮化硅...